二手 EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100 #9256777 待售
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EQUIPPE TECHNOLOGIES EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100 Wafer Handler是一种全自动设备,旨在提高晶圆加工的精度、纯度和速度。该装置使用单臂机器人精确处理直径达8.4英寸的基板。它具有三个运动自由度,允许最大的定位和控制精度。ESC-100配有专用传感器、控制器板和电动机,使其能够处理从0.12mm到6.00mm的基板厚度。机器人手臂有一个内置机构,可以自动调整其相对于基板厚度的抓地力,以避免损坏晶片。机器人手臂可达到2m/s的速度,其力精度在± 0.5N以内。EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100具有许多改进晶圆处理过程的功能。其智能静摩擦控制系统先前编程的设置如基板速度、力、加速度,以获得最佳性能和提高产量。该单元的高精度和可重复性使其能够处理广泛的精度应用。ESC-100配备了自动网格和金属检测机,能够检测晶圆上的异物。这使得该工具能够防止晶圆受到潜在损坏并减少处理时间。此外,基于视觉的背面检查功能允许机器人在处理过程中检查基板的背面。EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100具有模块化设计,并提供多种集成选项。每个组件模块都可以轻松修改,以满足客户的要求。资产还提供了广泛的终端效应子,可用于使机器人适应各种应用。直观的编程也可以通过其编程软件获得。总体而言,EQUIPPE TECHNOLOGIES ESC-100 Wafer Handler是晶圆加工的高效可靠模型。它具有很高的准确性和可重复性,可实现最高的效率和产量。机器人还提供了广泛的集成选项,使其适合一系列应用。EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100具有智能自动化和先进的特点,是任何晶圆处理环境的绝佳选择。
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