二手 FANUC 410 #9000722 待售

FANUC 410是为半导体晶圆处理而设计的自动化晶圆处理器。它是一种完全集成的机器人晶片传输设备，在各种生产模块之间运输晶片和晶片卡带载波。这是一种在工厂环境中精确、精确地传输晶片和载流子的有效和可靠的方法。410的核心是其高度先进的自动晶圆传输系统（AWTS）。该单元由机械臂、视觉机、传感器控件和PC软件组成。手臂设计坚固可靠，能够从源头到目的地精确一致地移动。视觉工具包括CCD摄像机和各种相关光学器件，为识别正在运输的晶片提供了一种高效和准确的方法。传感器控件设计用于检测运输过程中可能出现的任何问题,确保晶片和载波始终得到正确处理。最后，软件提供了一个用户友好的界面和一系列的控件，以帮助保持准确性和尽量减少错误。FANUC 410还有几个可选功能，可以添加以增强其能力。例如，可以添加晶圆清洁剂/洗涤器资产，以保持晶圆和载流子没有化学物质和污垢，进一步减少污染的机会。此外,还可以添加晶圆位置索引器,以确保晶圆和载波始终在一致且已知的位置正确对齐。410能够承载多达200个晶圆,并且能够以高达120m/min的速度移动,从而提高了吞吐量。其高品质、专门设计的电机和伺服驱动器使其成为高效可靠的自动化设备。FANUC 410的设计易于维护和维护,使其成为大型生产环境的经济实惠的选择。最后,其安全特性包括紧急关闭和ESD保护,使410成为晶圆生产的安全可靠选项。