二手 FANUC 420F #9001350 待售

FANUC 420F是由FANUC Robotics制造的功能齐全的晶圆处理机器人。它是为在半导体制造的背景下处理硅片而设计的。420F主要表现在运动、性能、可靠性和重量四个方面.由SCARA（选择性合规性装配机器人臂）和6轴铰接机械臂组成的双臂配置启用运动。它们加在一起,可以快速精确地进行线性和角度运动,并覆盖大面积区域。高精度电机驱动的伺服电动机与直接驱动接头滑动式绝对编码器的结合也提高了性能。这允许快速的循环时间和增加的工作区域。FANUC 420F的可靠性是其运行过程中的一个基本因素，因为它设计用于处理易碎晶片。因此，机器人配备了几种保护功能，包括机器人状态监视器、手臂保护罩、水冷电机和扭矩传感器选项。此外,420F还包含基于视觉的反馈,以实现可靠的自动化。此功能使自动机能够直接从晶圆接收位置信息，以方便其操作。机器人本身重约894磅，一次最多可处理12个晶片。可选地，这个机器人还可以安装一个拾取臂，进一步增加它可以同时工作的晶片的数量。此外,它还配备了一个无电池内存盒和一个I/O单元,使机器人能够在不受外部条件影响的情况下运行。综上所述，FANUC 420F是一款可靠、功能强大的晶圆处理机器人，利用电机驱动的伺服电机、基于视觉的反馈系统和一系列保护功能等先进功能，确保了可靠的自动化。它的双臂设计和一次处理多达12个晶片的能力使其成为半导体制造用途的理想选择。