二手 FANUC 90-30 #191354 待售
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FANUC 90-30是由领先的工业机器人公司FANUC製造的自动化晶圆处理器。它被设计为与各种自动化系统集成,使得用一个设备管理几个晶圆处理应用程序变得容易。设备由一个底盘、两个输送机级(各由多个输送机臂组成)和一个或多个晶圆载体组成。它被设计成一个非常高效和灵活的系统,能够处理不同的晶圆大小和数字。传送带具有全方位的设计,使它们能够在所有方向上自由移动。此外,该装置还包括真空夹持机,允许晶片在载波和输送机之间快速安全地运输。该工具能够以高达800mm/s的速度高速运输,从而确保高吞吐量。它还配备了强大的吸力臂和可调节的速度元件,以改进敏感晶片材料的处理。资产还具有自动晶圆对准和位置检测功能,使其能够识别每个晶圆位置并采取最适当的处理操作。此外,它还配备了灰尘控制系统,确保晶片不受环境影响。90-30是高度可靠和一致的,拥有超过1,000,000小时的MTBF(故障前的平均时间),甚至适合最密集的工业应用。该模型还能够存储多达100个程序,从而能够精确控制其所有操作。除了性能和可靠性,FANUC 90-30还设计了最大的安全性。它配备了紧急停止功能,使其能够在发生危险情况时被停止,以及独立的面向部件的清洁和维护系统,以确保所有部件保持清洁。90-30是处理晶圆材料的理想选择。其创新的设计、高速运输、自动晶片对准和灰尘控制系统,以及可靠的性能,使其成为任何种类的自动晶片处理应用的理想选择。
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