二手 FANUC Alpha T14iEe #9244558 待售

FANUC Alpha T14iEe是由领先的机器人公司之一FANUC开发的晶圆处理程序。Alpha T14iEe是一款生产力高、全自动的晶圆处理程序,能够达到每小时3500个晶圆的速度。该T14iEe具有多级真空机器人、紧凑、自给自足的装卸站和灵活的板式传动系统。多级真空机器人设计用于精确的采摘和放置操作。其特点是速度快，放置准确，工作区域延长。紧凑的装卸站允许较短的周期时间和较高的生产吞吐量。传输系统是由板驱动的,包括允许各种托盘格式和尺寸的可调元件。该T14iEe设计用于同时处理3英寸和5英寸晶圆尺寸。机器人可以针对各种配方进行编程，如涂层、烘烤、层压和旋转涂层，以及许多其他功能。该T14iEe还能够与先进的第三方系统集成，以提高效率和过程控制。该T14iEe配备了晶片锁、位置传感器、边缘传感器和PLC接口等可选功能。晶片锁通过防止晶片从机器人上滑落，确保了晶片的安全运输。位置传感器有助于确保晶片的精确放置。边缘传感器检测晶片边缘的任何损坏。PLC接口允许与外部PLC（可编程逻辑控制器）进行自动控制和通信。T14iEe始终提供可靠的性能,是晶圆处理需求的理想选择。机器人还符合SEMI标准，确保其符合行业最高规格的准确性和安全性。T14iEe是高效的，它的紧凑尺寸允许它在狭小的空间。T14iEe具有多功能性、快速、易用性和广泛的功能,是晶圆处理的强大且可靠的解决方桉。