二手 FANUC F-200i #166084 待售
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FANUC F-200i是为各种工业应用而设计的综合性晶圆处理器。它有助于自动化系统中晶片的传输、分类和定向过程的自动化。这使得晶圆传输和排序基本准确、快速,而操作员的干预和停机时间最少。F-200i的底架采用不锈钢结构,采用高精度滚珠螺杆运动系统驱动的堆栈背板和机器人。机器人手臂沿径向轴和角轴旋转。这些直立的机器人手臂沿基座四点接触保持稳定,进一步降低了打滑和翻倒的可能性。在FANUC F-200i的底部战略性地放置了一个除尘装置,协助防止灰尘和其他颗粒进入设备。工业级真空和冷却剂风扇控制并保持最佳温度。该系统还包括一个尘埃收集监视器,帮助监测和提醒用户任何灰尘积聚。F-200i还包括一个集成视觉模块单元和一个获得专利的视觉中心设备。此设备使用居中导引脚将晶片正确准确地居中到机器人臂上。视觉模块机器监视和捕获各种晶圆和设备的所有光学信息。这些数据由FANUC F-200i的内部软件收集和分析,确保晶片正确释放。F-200i采用灵活开放的网络协议,用于与外部系统进行联锁、通信和数据交换。数据还存储在内部数据库中,用于最后一个会话重复周期和将来的处理需求。FANUC F-200i具有出色的精密控制、安全特性和接口,非常适合需要快速准确处理晶圆的各种工业应用。
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