二手 FANUC M16iL #9082132 待售

FANUC M16iL Wafer Handler是一种精密自动化设备,专为处理200 mm和300 mm晶圆而设计。其坚固的结构允许晶片在各种方向上快速、准确地移动,并配备了广泛的功能,如晶片检查和对准、单磁带检查和多环处理。M16iL由手臂、晶片支架、热链移动设备、XY台和控制站组成。其最大传输速度为140mm/秒，最大加速度7500mm/秒 2。机器的可重复性为+-0.05mm或更小,允许最大2000公斤的移动负载。操控臂由一系列支撑铝制伺服电机底座的铝制型材，以及高达150公斤的有效载荷构成。臂通过同步驱动系统运行,确保它能够有效覆盖整个晶片。手臂可以配置为旋转、线性和平移运动，可以在0到190度之间旋转，允许手臂以弧形运动向上移动整整180度，从晶圆夹具到机器人夹具。晶圆支撑是一种电动滑动基板，将晶圆的大小调整为支架的大小。它的闭环单元和电动机确保它是精确和精确的控制。底板运动由三台伺服电动机管理，能够提供多次和重复运动。利用热链路移动机沿着伤口的X和Y轴精确定位晶片。为此，热链路配备了四台步进电机，确保晶片放置的精度和速度。XY表是晶圆转换机的中心站。它由四个线性滑轨、两个伺服电机和两个控制机器X和Y运动的步进电机组成。FANUC M16iL的XY表可以达到高达30mm/s的速度，允许高速晶圆传输。M16iL的控制站是操作员和机器之间的接口。控制站通过流畅的启动和停止功能、触摸面板显示屏和控制机器的10个通道等一系列功能，可以方便操作。最后，FANUC M16iL是一种精密的自动晶片处理机，可处理200 mm和300 mm晶片。它具有广泛的功能,利用热链接移动,可重复性为0.05mm或更小。它的控制站便于操作,并配备了一系列功能,可确保高效、快速的晶圆传输。