二手 FANUC R-J2 #9007198 待售

FANUC R-J2是为半导体制造工艺设计的晶圆处理工具。它能够自动处理直径高达600mm的晶片以及多个较小的6英寸晶片。R-J2能够自动将晶圆载波从工艺模块转移到工艺或卸载工具。高速高效传输大直径晶片的能力比其他解决方桉具有成本优势。FANUC R-J2配备坚固的设计，确保可靠和准确的运作。它具有灵活的晶片处理系统，允许处理易碎和短、小晶片。此模具设计用于加工直径从2英寸到600mm不等的晶片。此外,R-J2能够从多个进程模块和存储系统传输晶圆。FANUC R-J2的精度范围为0.003°C至± 2.0mm。这是由高精度伺服电机和驱动单元控制的。驱动单元采用防尘盖保护，车身采用铝合金制成，防潮漆面。这样可以确保该工具在恶劣的环境中保持工作状态。R-J2提供了一系列功能和优势,旨在提高生产率和降低拥有成本。它提供了自动晶片传输、高速晶片定位和传输，以及晶片的快速装卸。此外，FANUC R-J2还配备了视觉系统，使其能够快速识别晶圆载体，这有助于提高晶圆处理的准确性。除了运动控制和设计功能外,R-J2还提供功能强大的软件套件,允许与半导体制造过程的其他部分进行接口。这包括与流程控制系统、第三方自动化软件和设备控制系统集成的能力。凭借其软件集成能力，FANUC R-J2是一个宝贵的工具，有助于确保高效和经济高效的晶圆处理。R-J2是高效晶圆处理的可靠且经济高效的解决方桉。它提供了一系列功能和优势,使其成为半导体生产线的理想选择。FANUC R-J2具有精确的定位、可靠的设计和集成能力,是任何希望改进晶圆处理过程的半导体制造工厂必不可少的工具。