二手 FANUC R2000iA 165F #9182820 待售

FANUC R2000iA 165F是一种晶圆处理器，设计用于自动化半导体制造设施。它是一个高度精确的晶圆处理机器人，提供晶圆的精确控制和定位，非常适合生产高端集成电路。其独特的功能不仅仅限于移动晶片，因为它还能够执行一些操作，包括从处理程序和处理系统装载和卸载晶片，以及安装和拆除晶片载波。FANUC R-2000IA/ 165F由主臂、辅助臂、直线电动机和集成运动控制器组成。主臂负责机器人的大部分操作，而副臂则用于定位晶圆载体。两臂均能协调三维运动，并配有高精度编码器监控性能。为了确保最大精度和精度，R-2000 IA/ 165F利用线性和旋转电动机的组合来驱动晶圆运动。线性电动机在定位晶片时提供完美的精度，而旋转电动机则提供角度自由度，使机械臂能够精确地将晶片放置在所需的任何位置。R-2000IA/ 165F的机械臂配备了多种功能,以确保晶圆的安全处理。该臂的特点是具有可调极限开关的安全销监视器，为机器人及其环境提供最大的安全性。此外,机器人还具有晶圆存在传感器启用的紧急停止功能,该功能可防止机器人在检测到晶圆不在正确位置时进行任何危险移动。FANUC R-2000 IA/ 165F设计为24小时运行,具有广泛的诊断和可调整的设置,使识别和纠正性能错误更加容易。机器人还支持多种协议，允许集成到各种各样的半导体制造操作中。机器人的模块化设计便于安装，坚固的结构确保即使在最恶劣的工业环境中也能可靠运行。总体而言,R2000iA 165F是一个先进的晶圆处理程序,提供卓越的精度、准确性和多功能性.它非常适合各种半导体制造应用,并且能够在要求最苛刻的环境中始终提供可靠的操作。