二手 FANUC R2000iA 200F #9083596 待售

FANUC R2000iA 200F是专门为半导体应用设计的晶圆处理设备。它结合了业界领先的功能和可定制的选项,以实现快速、准确的晶圆移动和操作。R2000iA 200F包括用于200毫米和300毫米标准晶片的高速、非接触式和高精度晶片处理系统。它能够从机器人或通过手动操作垂直和水平加载和卸载晶片。该单元嵌入超高速、非接触晶圆处理子系统。晶圆处理器采用直线电动机，而不是传统的电动机，以确保卓越的速度，精度和可靠性。这种非接触式设计还消除了对固定晶片托盘、法兰及其相关振动的需求,从而为机器的操作提供了一个干净、无尘的环境。除了高速直线电动机外，FANUC R2000iA 200F还利用单波束传感器位移测量装置（TDMS）提供高精度绝对位置信息。此信息用于以无错误的精度执行晶圆处理操作,并确保晶圆的精确放置,无论是移动、放置还是移除晶圆。晶圆处理子系统与晶圆映射工具结合使用，该工具能够准确确定可靠的高速晶圆/帧识别所需的所有信息。与其他晶圆处理系统相比，该映射资产利用激光和CCD图像传感器生成更详细的晶圆/帧图。有了这些信息R2000iA 200F可以从任何方向和任意大小的帧中准确定位和拾取晶片。FANUC R2000iA 200F是一个功能强大、可靠且灵活的晶圆处理解决方桉,适用于所有半导体工艺。多个晶圆处理器可以与支援设备，例如清洁和分选机结合，创造出强大的晶圆製造线。R2000iA 200F具有鲁棒性和精密性，是处理当今易碎大容量晶片的理想晶片处理模型。