二手 FANUC R2000iB 185L #9266521 待售
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FANUC R2000iB 185L是一种晶圆处理器,旨在促进半导体晶圆在整个制造过程中的高效移动。它由一个单臂机器人安装的晶圆传输单元、一个集成晶圆定位设备和一个自动晶圆对准/定向系统组成。单臂机器人装有专门的双轴定位臂,用于在装卸作业中精确定位和对准晶片。该单元的集成晶圆定位单元的设计旨在为直径不超过300毫米(10英寸)的基板提供高精度定位解决方桉。晶片对准/定向机配备了快速准确定向和定位晶片,以便在装卸作业中精确放置。晶圆处理机器人采用单臂设计,高效可靠的晶圆处理。它拥有紧凑的结构尺寸,能够提供卓越的灵活性和控制,并有一个双轴定位臂,使机器人能够精确对准和定位晶片。它配备了两个独立的驱动系统,以确保精确的运动和提高稳定性。此外,其基于旋转臂的设计使其能够实现更快、更平稳的定位和装卸过程。它还采用坚固的钢架设计,以支持重型作业并确保无振动性能。集成晶圆定位工具具有高精度,通过触摸屏轻松操作,并利用激光引导晶圆定位资产实现快速准确定位。该单元配备了两轴减振模型和两组独立传感器,以防止潜在的错位。其晶片对准/定向设备经过设计,能够快速准确地定向和定位晶片,以便在装卸作业中精确放置它们。另外还采用了两组独立的传感器来检测和纠正错位。最后,R2000iB 185L Wafer Handler提供了半导体晶片在整个制造过程中的高效而精确的运动。其集成的晶圆定位系统、双轴定位臂、晶圆对准/定向单元均结合在一起,确保晶圆快速准确移动。其单臂机器人坚固耐用,适合重型作业,而其双轴减振机和两套独立传感器则最大限度地降低了潜在错位的风险。
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