二手 FANUC R2000iB / F165 #9253600 待售

FANUC R2000iB/ F165是一个晶圆处理器，致力于提供高效可靠的半导体晶圆处理。它具有紧凑的设计和可移动轴运动设备，非常适合半导体晶圆的制造和测试过程。运动系统由刚性基架、4轴臂和伺服控制的线性轴组成。4轴臂在X-Y平面中的行进范围为600mm，在Z-Axis中的行进范围高达900mm。手臂还配备了一个法兰D型连接器，用于终端效应器安装，精度可重复性为0.02mm。R2000iB/ F165配有数字轮廓控制单元,能够精确控制运动轴。这有助于最大限度地提高工作流效率和准确性。它还具有高速晶圆处理能力，允许它每分钟处理多达13个晶圆。它还提供了两种独立的晶圆定位模式--扁平提升或随机倾斜，以改进对不同尺寸晶圆的处理。FANUC R2000iB/ F165装在机柜式外壳中,为机器部件提供充分的保护。它被设计为可以承受高温和湿度的条件，使其适合一系列晶圆处理的应用。为确保高速运行过程中的可靠运行,该工具配备了动态平衡器,可减少振动和噪音。它还有一个完全集成，可调节的气动夹紧资产，使易于和安全的晶圆处理。作为先进的晶圆处理程序,R2000iB/ F165提供了广泛的安全功能。它配备了碰撞保护，允许它对操作过程中可能发生的突然载荷或物体变化做出反应。它还具有防止与运动部件接触的防护屏蔽模型。此外,它还具有冗余的安全设备（如光学传感器）,可以检测操作中的任何意外变化。总之，FANUC R2000iB/ F165是一种可靠、先进的晶圆处理器，具有高速度、高精度的性能。其紧凑的设计、精确的控制设备、可调气动夹紧系统以及广泛的安全特性，使其成为半导体晶圆加工应用的理想选择。