二手 FORTREND 159-020022-001 #9390217 待售

FORTREND 159-020022-001
ID: 9390217
Wafer transfer system With turntable MICROSCAN Quadrus Mini3.
FORTREND 159-020022-001是一种晶圆处理程序,用于自动传输和定位直径不超过8英寸(200毫米)的扁平薄晶圆。它专为半导体加工中的前端应用而设计,如晶圆清洗、测试和分选。159-020022-001晶片处理程序具有机器人真空晶片处理程序(RVWH)、垂直传输系统(VTS)和晶片传输卡盘(WTC)。RVWH设计用于拾取晶片,并将其快速准确地从转运站转移到加工站。VTS专为晶圆的高精度垂直运动而设计,提供晶圆定位的微调控制。WTC用于在传输过程中牢固地握住晶片,从而能够牢固地握住直径最大为8英寸(200毫米)的晶片。晶圆处理器还配备了一个用于精确放置晶圆的真空传感器和一个边缘夹具,可以在没有损坏的情况下握住晶圆的边缘。此外,晶圆处理程序还带有防污染选项,以防止晶圆运输过程中的溢出和污染。它还具有振动等离子体预清洁功能,以确保所有晶片的墙壁清洁和通路清洁。FORTREND 159-020022-001晶圆处理程序带有模块化真空系统,可单独调节,以最大限度地提高精度、经济性和效率。每个周期最多可支持200个晶圆,以实现快速高效的处理。晶圆处理程序设计小巧,易于安装,并且需要最少的维护。它可以在批处理和串联过程中操作。159-020022-001晶片处理程序提供高精度晶片处理和传输功能。它是自动处理和转移晶片的可靠和高效的工具,适用于从清洁到测试和分类的广泛过程。
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