二手 FUJI EC-201 #9289924 待售

FUJI EC-201是专为小型和大型应用而设计的多功能晶圆处理器。它能够处理直径达200毫米的晶片，每小时可处理多达200个晶片。该单元由一个晶片装载机/卸载机单元和一个彼此独立移动的晶片装卸头组成，允许晶片在装卸和装卸周期中精确对准。晶片装载机/卸载机装置装有真空输送的空气喷嘴和对准的粘膜。此外，一个带分板装置的盒式装载机可用于抓取和移动不同尺寸的大型晶片。晶片处理头设有真空卡盘，以稳固地扣紧晶片，并提供晶片在处理室中的精确旋转和定位。内置步进电动机以及用于位置控制的线性编码器，便于在运输过程中精确对准和处理晶片。Z轴运动机构允许在运输方向上有更大的灵活性。EC-201 Wafer Handler配有一个安全系统,用于切割机翼危险空气,使其无法进入装卸室,保护晶片免受静电或异物损坏,并监控真空卡盘以进行正常操作。此外,十六个设置的可编程单元允许在不更换部件的情况下轻松切换和自动完成处理周期。通过为用户提供可靠高效的运输系统，FUJI EC-201 Wafer Handler为那些在半导体、微电子和医疗行业中处理晶片的人提供了极大的帮助。晶片处理头的低噪声和操控空间的受控环境使其成为机器人晶片处理的理想设备。