二手 GENMARK GB7 #9153705 待售

GENMARK GB7
製造商
GENMARK
模型
GB7
ID: 9153705
Robots P/N: 400397007 965925 5007784/5064340 400397009 4007-970-93.
GENMARK GB7是一种晶片处理程序,设计用于在整个生产过程中管理和运输半导体晶片。该装置设计用于晶圆的制造和测试应用,直径不超过300毫米晶圆。该装置能够处理重达22公斤的冷热晶片。GENMARK GB 7具有高速、四轴笛卡尔机械臂和垂直运输设备,以减少循环时间,提高吞吐量和生产效率。该装置能够精确的晶圆运动,总行程为250 x 400 x 250 mm,可重复性为0.2 mm,速度高达30 mm/sec。手臂利用CCD相机检测晶片边缘;以及红外跟踪技术,以准确定位臂在原点和晶圆转移过程中。它可以精确地拾取和放置多达50个晶圆。GB7包括一个独特的双"C"机械驱动器。该驱动器具有卓越的晶圆传输稳定性,降低了操作过程中的转速,并减少了噪声污染.它包括一个500毫米冲程离子植入器臂真空疏散。手臂以25毫米/秒的高速达到500毫米的全行程。GB 7的其他功能包括集成的碎片防护系统、直观的用户界面、用于晶圆装卸的气动吸力装置以及晶圆塞子功能。用户界面允许设置参数和选择预置配方以获得最佳性能。它还允许在必要时实施扩展配方定义。综合碎片管理机器的设计是为了防止晶圆受到灰尘、污垢和其他外来颗粒的污染。气动吸力工具用于在狭窄的空间内抓握和移动晶片,而晶片塞子则防止晶片在转移过程中过度移动。GENMARK GB7是一个紧凑可靠的晶片处理程序,为管理半导体晶片的生产提供了一个经济高效的解决方桉。它的精确运动可以在不影响循环时间的情况下实现最佳精度。其直观的用户界面和大量的附加功能可确保设备满足任何高端晶圆生产或测试应用程序的需求。
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