二手 GTA GL 2001 #9242497 待售
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ID: 9242497
Loader
PLC Controller
X, Z Axis servo & step motor
Touch UI damaged
2006 vintage.
GTA GL 2001是一款晶圆处理程序,旨在为半导体制造业提供可靠、高效的晶圆传输、处理和对准解决方桉。该装置配有互锁设备,确保上下晶片之间一致准确对准。集成的液晶触摸屏可轻松操作和控制晶片加载。GL 2001有一个晶圆传递室,设计用于减少污染。腔室可以双向打开,半自动冷却真空系统有助于提高晶圆传递效率,优化晶圆尺寸。腔室还包含一个舞台定位单元,该单元管理晶片在从源放置到晶片转移腔中时具有适当对准的精确旋转。该设备还具有作为独立机器的PC电源,可减少噪音和振动问题。它还有助于防止信号线路和地面之间的任何潜在短路。它设有两个晶片盒,一个25槽盒式晶片盒和一个25槽盘式晶片盒。软件控制为不同的晶圆尺寸提供了最大的精度和灵活性。晶圆传输速率是可调的,可根据晶圆大小设置在0.5到3之间。设备的软件和硬件旨在保证制造过程的可靠性。设备的配置和操作设置是为了提供与自动化系统和SPC管理的最大兼容性。集成的旋转进纸器能够承载高达500 kN的功率,由于其兼容的驱动机构,在传输过程中可实现晶圆的清洁度。GTA GL 2001的设计和建造使其具有很高的耐用性和坚固性。它有一个集成了温度补偿、粒子滤波器和先进的激光位置传感器的数字控制工具。此外,该单元还配备了一个ISO5洁净室等级的外壳和先进的振动控制。总而言之,GL 2001晶片处理程序是半导体工业的理想解决方桉,因为它具有强大的设计、先进的特点和可靠的操作。它采用最先进的技术,提供精确的处理,并确保工艺干净。
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