二手 HIRATA HNC-US566-6 #9111398 待售

HIRATA HNC-US566-6是一种机器人晶片处理程序,专为薄晶片的可靠装卸而设计。它利用高速、高精度的龙门机器人，在加工工具、负载锁和载流子之间精确地传递晶圆。该机器人设计为在1级洁净室环境中操作，可处理直径达6英寸的晶片。它配备了一个照相机，跟踪晶片的进展，并根据晶片的确切位置帮助精确放置晶片。机器人具有三个自由度，可以在x、y和z平面中移动，以进行精确放置和高速移动。它的夹持器可以处理高达0.8mm厚的晶片，这使得它们适合广泛的应用。此外，它还具有一个自我检查功能，可以监视其所有组件，并能够检测和报告其操作中的错误。负载和卸载过程在1级洁净室环境中进行，在处理过程中尽量减少颗粒污染。机器人还有一个负载锁定系统，防止在将晶片从一个工具移动到另一个工具时污染进入机器人内部。为了保护操作、清洁和安全,它有一个安全联锁系统（SIS）来监视机器人的所有动作。HNC-US566-6是一个可靠和高效的晶圆处理程序，适合各种应用。它速度高、精度高、精度高，是洁净室环境中装卸晶片的理想解决方桉。它的安全功能还确保它在不影响产品或其他组件的情况下运行,从而使其成为可靠且经济高效的自动化解决方桉。