二手 IDE ROB-300 #9298457 待售
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IDE ROB-300晶片处理设备是一种高度自动化的半定制机器人系统,用于自动处理和操作直径不超过300 mm的晶片。ROB-300提供了洁净环境中晶片的精确处理。一个双臂机械手和两个独立的Z电机为单元提供精确控制。这些电机负责控制机器人手臂的高度和位置,以及晶圆装卸过程。机器人手臂本身能够抓握和处理单个晶片,以及分批。除了机器人手臂之外,机器还包括一个基于输送机的线性传递工具,将晶片从一个位置移动到另一个位置。该资产专为平滑、可重复的运动而设计,使用自定义的线性或弧线根据需要精确定位晶片。IDE ROB-300可以容纳各种晶圆装卸选项。提供手动或自动(通过可编程软件)加载/卸载选项,使模型能够适应客户的特定需求。手动加载/卸载是通过精确的手动卡盘执行的,该卡盘对正在处理的每个晶片施加低力夹紧。自动加载/卸载是使用气动夹具装载机/卸载机执行的,该装载机/卸载机将晶片送入/从机器人臂送入。该设备旨在提供灵活性和对晶片处理过程的完全控制,包括对齐、放置和定向。气动部件的使用确保了整个操作过程中可靠和可重复的准确性。使用数字控制面板监视和控制所有与晶圆相关的操作。ROB-300系统设计方便访问和维护。该单元还配备了一个安全机器,以防止由于部件处理不当而造成的任何潜在事故。它具有半可定制的设计和可靠性,使其成为希望在清洁室环境中实现晶圆处理过程自动化的公司的理想选择。IDE ROB-300工具具有灵活性和精密控制能力,非常适合处理和操作直径达300 mm的各种晶片。
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