二手 ILHOTECH ITAL-500 #9392926 待售

ILHOTECH ITAL-500是一种高精度晶片处理设备，设计用于通过多种半导体器件制造步骤处理复合半导体晶片。该系统具有真空机器人臂，可在多个工作站之间提升和转移直径可达150毫米的晶片。该臂可以精确定位晶片，同时提供半导体加工过程中必需的完全干燥的环境。该单元的关键部件是机器人手臂、模具夹具和控制机器人运动的微型驱动机。机器人臂被设计为适合任何标准的100 mm或150 mm半导体转运站，使其能够处理几乎任何类型的晶圆材料，包括氧化物、多晶硅、砷化氙和的-硅基板。此外，机器人手臂被设计为与任何自动装卸站或工具兼容。ITAL-500的基座是一个工业级的，坚固的框架，即使在高重量和振动下也能提供稳定性。基地有一个加固的可移动平台，使资产能够提供更广泛的移动，同时也支持高精度的运动。该模型还利用了高精度和可靠的Delta Drive微驱动器单元，从而实现了工具的高速、精确和可重复定位。该晶片处理程序的模具夹具旨在为加工工具提供一个安全的平台，以及用于传输和抓握晶片的真空连接。夹具还具有快速更换的工具机制,可方便、直截了当地交换工具。模具夹具还配备了触控传感器，用于晶片在水平和垂直方向上的高精度对准。ILHOTECH ITAL-500的其他特点包括用于检测晶圆方向和边缘位置的集成视觉设备、基于配方的全自动流程以及基于Web的综合监控系统。该单元设计为操作和维护简单，在制造过程的不同阶段之间提供完整的进程间通信。而且，ITAL-500符合半导体制造工艺的安全标准。总体而言，ILHOTECH ITAL-500是一种有效可靠的晶圆加工机，旨在满足半导体行业的需求。它为半导体晶片的高产加工提供了精确、可重复的加工工具运动。其全面的设计实现了高精度和快速的晶片处理，使其适合广泛的生产需求。