二手 ILHOTECH M23IDF #9390882 待售

ILHOTECH M23IDF
ID: 9390882
Auto loader.
ILHOTECH M23IDF Wafer Handler是一个高度先进和创新的机器人,用于快速、安全地处理脆弱和精确的晶片。该机器人专为半导体、显示器和LED制造行业的晶圆运输而设计。它是一个多轴机器人系统,由一个工业机器人手臂、一个晶圆抓握装置、一个分配碗旋转木马和几个定位器组成。机器人臂可以高速、精确地移动晶片。它体积小,也让它容易融入各种流程和机器。晶片抓握装置的设计目的是通过其三颚卡盘机构将晶片牢固地固定在适当的位置。卡盘由耐用的非静电材料制成,使其能够紧紧安全地握住各种晶片而不会造成任何损害。卡盘具有可调的开口力,可调节以确保最佳抓握强度。分配碗旋转木马一次最多可容纳9个晶片。旋转木马装有一个低张力弹簧加载的导轮,它可以在晶片分配过程中精确跟踪机器人的运动。另外,旋转木马还用作分配液体的储罐,如蚀刻剂和稀释剂。定位器又称转移臂,是机器人的主要部件。这些臂的设计目的是在工艺和位置之间移动晶片。它们配备了多种可调节的设置,允许它们以任何所需的方向或速度移动晶片,并具有极高的精确度。定位器还具有传感器,用于检测晶圆坐标,防止晶圆意外处理错误。M23IDF Wafer Handler是在半导体过程中处理晶片的可靠和安全的工具。先进的技术特性确保晶片得到安全和准确的处理,不会造成任何损坏或污染。机器人是高度可定制的,这使得它可以很容易地集成到任何设置中,其直观的软件和用户友好的界面使它的编程、操作和维护变得简单。
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