二手 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2000 #185015 待售

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2000是一种晶圆处理器机器人设备，设计用于为各种半导体制造工艺提供自动运动控制、晶圆传输和数据采集。该系统由基础结构和晶圆臂两个主要组成。底座结构由铝制框架和电力机架组成，为整个单元提供了平台。这旨在为整台机器提供最大的稳定性。基地配有全配电工具和冗余气动资产，为机器人的运行提供可靠、安全的环境。此外，碱基结构被设计为与大多数标准离子植入器兼容。晶圆臂设计用于晶圆的高度自动化和精确定位。它是一种计算机控制、精密控制、6轴机械臂，最大可达800毫米。手臂能够在将晶片从一个腔室移动到另一个腔室的同时执行重复性、准确性和速度要求。IRVINE OPTICAL APS 2000配备了直观的图形用户界面（GUI），提供易于遵循的说明。这包括多功能的运动控制功能,以提高产品质量和速度。此外,该模型还提供了广泛的数据采集和报告功能,从而提高了产品质量保证。设备配备了几个安全功能，包括压力传感器、限位开关和基于软件的安全功能。这样可以确保机器人在发生故障时不会伤害人员或组件。机器人还设计为通过严格的安全测试，包括UL认证。总体而言,BROOKS AUTOMATION APS-2000旨在为各种半导体制造过程提供更好的过程控制、可重复性和更高的安全性。它具有坚固的基础结构、直观的GUI、多用途的运动控制功能以及扩展范围的先进晶圆臂。它的安全功能有助于保护人员和组件免受故障的影响,并通过其UL认证,确保您的操作符合必要的安全标准。