二手 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2000 #293748039 待售

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2000是一种晶圆处理程序，旨在使半导体制造设施中半导体晶圆的装卸过程自动化。该处理程序能够以高精度和高速度传输、检索和定位多个晶片。它有一个四级晶片滑道，加上一个集线器区域，有一个或两个机械臂，可以达到6英寸。机械臂能够运输直径达472mm的晶片，每小时可处理多达30个晶片。机器人臂由精密伺服电机提供动力，机器人组件设计有助于确保晶片的精确放置和精确平移。IRVINE OPTICAL APS 2000的两个主要部件是其晶圆槽和机器人装配。前者的设计目的是在晶片从加工的一个阶段移动到另一个阶段时安全地运输和储存晶片。它由四个级组成，每个级都设计用于处理不同类型的晶片如BT掺杂或FT熔融晶片。各阶段相互连接,以确保整个过程的平稳移动。BROOKS AUTOMATION APS-2000的机械组件由两个机械臂和一个集线器区域组成。这些臂可以达到6英寸，可以精确定位晶片到0.2微米以下。集线器区域配有负载端口，用于晶圆的平稳传输，并利用先进的视觉系统确保精确对准。IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS-2000采用直观的用户界面设计,因此操作员可以轻松管理整个过程。界面可以与各种软件程序和自动化系统集成，以帮助简化生产流程。此外,该单元还设计用于易于维护和清洁,具有可移动的盖板、可打开以进入内部组件的盖板以及工具可访问性。APS-2000旨在提高晶圆处理过程的准确性、灵活性和效率。凭借其卓越的操控能力、扩展的机器人覆盖范围、精确的对准能力以及用户友好的界面，这款晶圆处理程序是一款适合大规模半导体制造操作的解决方桉。