二手 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2XT #9160691 待售

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XT是一种自动化晶片处理程序,旨在为晶片处理提供精确的自动化和高吞吐量。IRVINE OPTICAL APS 2XT是一种全自动晶圆传输设备,可轻松与各种工具和过程集成。BROOKS AUTOMATION APS 2XT旨在减少延迟和限制人为错误,同时提供全过程自动化、灵活性和可扩展性。它配备了晶圆存储、加工、处理和干燥的多种选项,所有这些选项都可以根据客户的个别应用需求进行定制。APS 2XT能够处理直径200毫米、300毫米和400毫米的晶圆，最大速度为每小时120个晶圆，简化了整个过程。此外，该系统能够区分不同直径和厚度的晶片。IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATATION APS 2XT可用于一系列晶圆加工应用，如薄膜和厚膜沉积、蚀刻、变薄、切块和研磨、晶圆烘烤和测试。此外,机器还可以配置各种不同的泵和附件,如背压调节器、阀门和容器填充器,以及可选的集成计量系统。IRVINE OPTICAL APS 2XT易于使用,需要最少的操作员干预。该设备的触摸屏用户界面提供实时反馈,允许用户在过程进行时监视和跟踪过程。此外，机器的优化软件可以用来识别和调整任何操作参数，以优化过程。为了确保可靠性和可重复的性能,BROOKS AUTOMATION APS 2XT具有许多功能。这些特点包括运动控制元件和真空系统，以及为承受24/7操作的严酷而建造的坚固机械设计。该机出色的机械设计也降低了振动和噪音水平，使其适合清洁室操作。最后，该机配备了方便出入的门和自动化甲板，便于检查和维护。总体而言，APS 2XT为晶片处理应用提供了可靠、通用的晶片处理程序。IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XT结合了精密自动化、高吞吐量和易于使用的控制系统,为任何处理环境提供了宝贵的补充。