二手 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 408 #293601071 待售

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 408晶圆处理器是一种自动化晶圆处理设备，设计用于传输半导体和MEMS行业中的晶圆。它能够将晶片从直径达67mm的较大盒式磁带以及其他各种小零件中转移出去。该系统是为高性能而设计的，通过小巧的模块化设计提供高效和安全的晶圆运输和处理。IRVINE OPTICAL APS 408 Wafer Handler的主要部件包括一个收集站、一个对准单元、一个拾取和放置模块以及一个转接单元。收集站用于将晶片从较大的盒式载波定向和移动到BROOKS AUTOMATION APS 408。它有一个FOUP式的装货穿梭机，可以精确装卸晶圆和零件。晶圆对齐机有助于在拾取和放置操作之前精确地将晶圆居中。该装置利用两个照相机和光学对准标记来定位和定向晶片。它也有一个可调的宽度提供快速和精确的晶圆对准。拾取和放置模块用于将晶圆从对准工具精确传输到传输单元的模具板。这是使用带有端效应器的方形冲压杆完成的。它还具有Z传感器功能，允许对同一晶圆进行多次处理。最后，转移单元用于将晶片运输到目的地。它有一个独特的，可调销模具板，以容纳晶圆和皮带传输资产。该模型有助于确保在运输过程中准确放置晶片，减少真空损失，并通过在搬运过程中提供清洁空气帮助减少污染。除主要组件外，APS 408还包括一个用户友好的图形界面，便于配置和操作设备。它还具有内置的安全功能,例如过温和过流保护。此外,它还可以与其他各种自动化系统配合使用,使其成为适用于各种应用程序的经济高效且可扩展的解决方桉。总体而言,IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 408晶圆处理程序是一个高效可靠的自动化系统,旨在传输晶圆和其他小零件。它专为精确的对齐和拾取操作而设计,其模块化设计使其具有很高的适应性和经济效益。因此,它是满足许多半导体和MEMS生产需求的理想解决方桉。