二手 ISEL ROBOTIK IWH-BA13S24HDF-3 #293602549 待售

ID: 293602549
优质的: 2013
Wafer handling robot 2013 vintage.
ISEL ROBOTIK IWH-BA13S24HDF-3 Wafer Handler是一种自动化设备,专为半导体行业中单个晶片的高效处理、加载和卸载而设计。利用自动化晶圆处理设备,能够在操作中实现高精度和重复性。IWH-BA13S24HDF-3有一个由X轴和Z轴两个轴组成的车架,由两个无刷直流伺服电机控制,可提供高速操作和精确定位。其X轴运动由一台带有解析器的直流伺服电动机控制,在各种加速度和减速轮廓中提供了广泛的运动范围。电机由ISEL ROBOTIK ULTRAROB控制器控制,能够实现多轴操作。Z轴运动由另一台用于晶圆垂直运动的直流伺服电动机控制。它还具有光学定位系统来调节X轴和Z轴中的晶圆位置。Z轴能够提升到2000N(=200kg)的重量,因此非常适合较重的部件。ISEL ROBOTIK IWH-BA13S24HDF-3 Wafer Handler还有一个晶圆测量和对准单元,允许单个晶圆的精确装卸。对准测量机是CCD照相机和产生亮光的光源的组合,以测量晶片的位置和方向。除了装卸功能,Wafer Handler IWH-BA13S24HDF-3还可以执行销钉检查。它使用气动探针,测量加载在其上的元件的高度和尺寸,以及晶圆座中的插槽。这种方法可以快速、准确地测量晶片,有助于确保工艺质量。此外,ISEL ROBOTIK IWH-BA13S24HDF-3还具有真空工具,可帮助在处理和加载单个晶片时抓住并固定它们。此外,真空资产的设计能够抵御来自加工化学品和粉尘的任何潜在污染,确保部件的安全。IWH-BA13S24HDF-3是一种高效、省时的晶片处理设备,具有处理大量晶片的大容量。它能够使一系列生产过程自动化,如加载和卸载晶片、销钉检查和晶片测量,确保精确、可重复的过程具有很高的精确度。该设备还能够在各种生产环境中实施,为提高生产率和成本效率提供了高效的解决方桉。
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