二手 JEL 9808005 #9396478 待售
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JEL 9808005晶片处理程序是晶片加工线的组成部分。该装置的设计能够精确可靠地处理直径不超过5英寸的晶片。处理程序的主要特点是高通量输送机、晶圆传输设备、晶圆中心。输送机由低摩擦聚合物材料制成,允许每小时高达14个晶圆的高通量,且微粒或污染摄入量最小。输送机使用多个带有可调张紧器的小轮子,以确保运动的连续性,而无需额外的力。还包括一系列传感器和提升器,以提供晶圆厚度和直径的精确测量。晶圆传输系统将晶圆从输送机输送到中心和对准机构。这是由一个独特的两部分导引单元实现的,该单元的下部有一个带索引的滑轨,上部有一个精密的机动定位机。晶圆居中和对齐机制旨在执行各种任务。首先,定心机构使用多个弹簧加载的针脚,以确保所有晶片在传输前均居中。其次,晶圆对准机构采用精密滚筒,自动调整入射晶圆的垂直和水平对准。此外,还包括一个安全开关,用于防止晶片自动传输未正确对齐的晶片。最后,9808005晶圆处理程序还配备了串联监控能力。视觉资产与软件集成在一起,以检测晶圆的传输、对准和居中可能出现的错误。此外,晶圆处理程序设计用于最小程度的维护和清洁,以及容易集成到更大的系统。综上所述,JEL 9808005晶片处理程序是一种可靠、高精度的晶片处理程序,旨在确保对各种应用进行有效的晶片处理。该设备的独特功能能够精确处理具有高吞吐量容量的晶片,以及监控传感器和视觉系统,以实现安全传输和实时检测错误。
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