二手 JEL GHR4180-280-PM-02931 #9111139 待售

JEL GHR4180-280-PM-02931晶片处理程序是一种用于半导体生产的最先进的自动化工具。它旨在在支持高速生产和提高产品产量的同时，实现大基板（如3英寸、4英寸和6英寸晶圆）的高精度运动。JEL GHR 4180-280-PM-02931采用模块化概念设计,可轻松扩展其应用程序以满足客户的要求。它有一个内室和外室，室内有一个压力传感器。内室容纳八（8）个晶圆级，一次最多可接受8个基板，或一个直径最大8英寸的大单基板。GHR4180-280-PM-02931可以移动基板高达10mm/s，它包括双线性电动机以实现单向和可逆运动。它配有减少静电放电的电离器，以及用于精确定位的CCD视觉系统。其集成控制系统采用编码器和传感器，为精确运动和晶圆处理提供准确的位置反馈。除了晶片级之外，GHR 4180-280-PM-02931还包括真空卡盘台、升降机构，以及易于调整以适合任何基板尺寸的倾斜台。提升和降低机构允许将晶片精确放置在基板表面的10微米范围内,而倾斜台则允许微调倾斜角度。JEL GHR4180-280-PM-02931配备了用户友好的软件，可方便操作和定制可编程性。它可以用于各种自动化生产线以及人工批量作业。该工具设计为与广泛的外围设备连接，包括机器人、晶圆对准系统和其他晶圆处理系统。总体而言，JEL GHR 4180-280-PM-02931是为自动化半导体生产而设计的最先进的晶圆处理器。它可以处理直径最大为8英寸的大型基板，并配有双线电动机、电离器、视觉系统以及用于微调倾斜角度的倾斜台等先进特性。其用户友好的软件使其易于与外围设备集成,并允许定制的可编程性以满足用户的确切要求。