二手 JEL GHR4206-320-PM-02194 #9396484 待售

JEL GHR4206-320-PM-02194晶片处理程序是一种先进的机器人处理设备，设计用于半导体制造中晶片的自动化处理。它采用紧凑的分轨配置，两台无刷直流电动机安装在侧轨上，用于精确的高速运动。晶片通过防静电固定装置安装在其传输机构上，对直径不超过8英寸的晶片进行安全和一致的处理。GHR4206-320-PM-02194配有三级真空晶片传输系统，能够快速准确地处理晶片。其精密设计提供快速、可重复的定位,精度± 1 μ m。集成的光幕提供SMIF接口支持,以便轻松集成到兼容SMIF的生产线中。该单元还配备了真空卡盘单元，在运输途中为晶片提供额外的支撑，确保晶片的可靠、安全的处理。集成机为连续生产而设计，吞吐量高。其中包括两个压力传感器,以确保最佳处理条件和防止晶圆损坏。JEL GHR4206-320-PM-02194使用模块化配置,便于工具扩展和可扩展性。集成加热器提供晶圆温度控制，确保晶圆的处理一致。晶圆处理资产还提供数据观察和测井功能，允许对生产过程进行详细分析。其中包括一个主动反馈模型,以确保最佳处理条件。内置诊断设备可用于即时系统诊断和故障排除。GHR4206-320-PM-02194符合CE标准,可提供多种安装解决方桉,以提高安装的灵活性。JEL GHR4206-320-PM-02194是一种高度复杂的自动化解决方桉,旨在使晶圆处理更加轻松可靠。它的模块化配置允许更低的成本和更快的调试时间。综合系统还可以改进对生产过程的跟踪和监测。GHR4206-320-PM-02194晶圆处理器是半导体制造商寻求晶圆加工自动化的理想解决方桉。