二手 JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L #9259819 待售

JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L是专为处理精细半导体晶圆而设计的高精度晶圆处理器。它配备了先进的线性定位器，以确保在处理过程中晶圆的精确对准。该定位器与一个控制单元连接，以确保定位器运动的高精度。SLR 200 LPTS/L具有三个独立的运动轴（X, Y, R）,以便在处理任何大小和形状的晶片时具有最大的灵活性。X轴可以将晶片从135mm移动到270mm，Y轴可以将晶片从165mm移动到280mm，而R轴可以将晶片从375°移动到无穷小度旋转。SLR 200 LPTS/L能够处理广泛的基板，包括所有等级的硅、SiGe、GaAs等材料。它支持任何大小和形状的晶片，直径从200毫米到330mm。此外，它能够执行从清洁和除渣到蚀刻和抛光的各种过程。它还能够执行复杂的晶圆检查和计量任务。SLR 200还具有全面的安全功能,例如处理过程中的晶圆检测和检测任何潜在损坏的警报机制。SLR 200 LPTS/L配备了一个复杂的软件包,具有用于扩展测试流程、流程模式调度、自动测试序列和其他高级功能的软件协议。软件包还可以从任何位置远程控制和监视机器。总体而言，JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L是一款高精度晶圆处理器，设计用于半导体行业不同基板的高精度处理和自动化处理。其先进的线性定位器、膨胀的运动范围、全面的安全特性和精密的软件包使其特别适合各种晶圆处理任务。