二手 KAWASAKI 30C63E-A003 #293643260 待售

KAWASAKI 30C63E-A003是Wafer Handler,专为高精度和可靠的性能而设计。它是专门为半导体工业而设计的。30C63E-A003具有双机器人手臂设计，能够将晶圆盒式磁带移入和移出主加工室。机器人手臂可以检测和抓取正确的卡带，消除人为错误，提供更高的准确性和可靠性。川崎30C63E-A003配备了可靠的真空晶片吸力设备，有助于确保晶片不会因处理不当而受损。这种晶圆吸力系统也独立于机器人手臂，可以让用户在不使用机器人手臂的情况下进行单独的晶圆操作。30C63E-A003包含一个先进的石墨板输送机单元，它充当晶圆和机器人臂之间的非滑动层。石墨片也减少了对晶片的伤害。传送机战略性地放置在晶片盒式装载机和闸阀之间的通道空间内，允许几个晶片一次处理。KAWASAKI 30C63E-A003旨在提供方便的访问和操作。机器人手臂可以调整到所需的位置进行精确的拾取和放置，这可以通过手臂的简单旋转来快速调整。此外，机器人手臂可以左右移动，也可以上下移动。而该单元可以附着在平坦的表面上，以获得更大的稳定性。30C63E-A003的前端有一个手动闸阀，用于控制进入主腔室，为插入和移除晶片提供快速和方便的访问。该闸阀通过机械驱动单元和电子控制器操作。此外，闸阀还配备了温度测量装置，以确保安全的工作温度。KAWASAKI 30C63E-A003还包括一个有效的冷却工具来管理加工晶片时产生的热量。冷却设备将空气循环通过晶圆室，以防止内部组件过热，同时也防止外壳内部任何凝结堆积。30C63E-A003是一种可靠、高精度的晶片处理程序,旨在自动完成半导体行业中处理晶片的困难和耗时任务。该单元采用双机器人手臂设计；可靠的真空晶片吸力模型；石墨板输送机设备；以及易于操作的闸阀。此外，KAWASAKI 30C63E-A003还设有冷却系统，用于管理晶圆加工时产生的热量。