二手 KAWASAKI TS220-D511S #9088881 待售

ID: 9088881
Robots for DNS / DAINIPPON SK-2000.
KAWASAKI TS220-D511S晶片处理机是一种批量生产的设备,设计用于精确可靠地传输、旋转和检查多达8 ″的易碎半导体晶片。采用的精细平衡和坚固的机制可确保高通量,对敏感晶片的损害最小,并且在整个周期中保持高度精确和一致的对齐。TS220-D511S由几个模块组成,包括主处理器、旋转器、输送机和积木单元。主处理器单元具有一个控制器,该控制器处理从旋转器、输送机和储物柜单元接收到的信号,以控制晶片在不同组件之间的传输,并允许即时进行调整。转子单元采用高扭矩无刷电动机来精确旋转晶片,以达到传统步进电动机无法达到的旋转精度水平。输送机采用吸力和自由落体技术相结合,以确保晶片的持续平稳运动,运动的平顺性在整个过程中达到令人印象深刻的精度水平。Stocker单元是一个高度可靠且符合要求的单元,其设计可安全地容纳多达65个8 ″晶片以及几个较小的晶片。KAWASAKI TS220-D511S设计为可靠高效运行,晶圆传输定位精度达到1 μ m,旋转精度达到0.02°,晶圆处理时间达到10 ms。它还有一个内置的视觉系统,允许自动晶圆检查,提高吞吐量和消除过程中的缺陷。此外,还采用了事件驱动的独立操作单元,以确保机器的平稳可靠运行。TS220-D511S的其他功能包括通过内置诊断提供维护支持、自动通知更换部件、通过PC进行安全编程以及对过程参数进行全面跟踪,所有这些都有助于提高效率并确保最佳操作和产品质量。最重要的是,川崎TS220-D511S的设计既负担得起,又易于维护,为满足半导体行业的需求提供了可靠和经济的解决方桉。大量的附加功能使TS220-D511S成为一个有吸引力的批量生产机器,用于要求苛刻的半导体生产过程。
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