二手 KENSINGTON 8500-12 #9156454 待售

ID: 9156454
Motorized stage.
KENSINGTON 8500-12是一款用于半导体器件制造的全自动晶圆处理程序。它被设计为支持范围广泛的晶圆尺寸达8英寸和150毫米。设备使用六轴机械臂进行精确且可重复的晶片传输,并包括一个高精度的视觉系统,可以跟踪晶片并补偿运输过程中的任何运动。这一单元具有一个反应迅速的计算机化控制器,可以用各种功能和配方进行编程,以方便快速和准确的晶圆传输。具体来说,控制器可以用基于晶圆大小、方向和处理特性的参数来编程。它还设计用于在一次传输中最多容纳5个晶圆,从而实现快速吞吐量。8500-12还拥有高度精确度和超精密定位能力。步进电机驱动的机器和带有编码器的线性级提供了0.1 μ m的精度。实现这一精确度水平允许对处理各种大小和形状的晶片进行精确的过程控制。为了安全起见,该工具可以提供惯性较低的刚性腕部机构,这对于防止转移过程中意外损坏晶片至关重要。此外,资产还受到EOS保险丝的保护,如果发生过载,EOS保险丝将关闭模型。此外,KENSINGTON 8500-12采用紧凑、轻巧的设计,可与空间需求最小的大多数输送机系统集成在一起。它还设计为易于维护,具有自我诊断功能和用户友好界面。总体而言,8500-12是一款可靠、高性能的晶圆处理器,旨在满足当今半导体器件制造的需求。它提供精确、可重复性和安全功能,使其非常适合多种生产环境。
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