二手 KENSINGTON Equinox #81777 待售

KENSINGTON Equinox是一款高精度晶圆处理程序，设计用于半导体行业高效、经济高效的操作。该设备配备了一个专利地形为基础的晶片抓握机构，使准确和稳定的基板处理。该系统还具有很高的可靠性和可定制性,允许用户修改关键组件,如传输套件、弯曲皮带、传送带和卡盘-从而最大限度地提高效率并允许精确处理各种晶圆尺寸和形状。该单元有三个主要组件-控制柜、上层模块和晶圆零定位器。控制柜包含一个工业PC、PLC和HMI工作站,这些工作站通过CANopen通信连接,并允许高效的设置和编程。上级模组位于上臂，负责转移和抓握基板。它由线性传动级、旋转伺服和晶圆夹具组成。晶圆零定位器是决定基板精确取向的集成组件，允许精确的晶圆处理，不存在刮擦或其他损坏的风险。此外,Equinox还提供了广泛的特性和功能。其内置的真空预粘合泵可实现高精度处理。真空预粘合泵还具有自动调节和表面温度监测机，可确保精确和温度控制的粘合和定位。此外，这一工具有一个综合视觉资产，可以精确检测底物。高速精确运行是KENSINGTON Equinox的关键优势。该模型具有先进的轮廓从动函数,可确保晶片在表面上的平稳快速移动而不会造成任何损坏,从而提供强大的过程控制和节省成本的好处。所有这些功能都设计为提供高性能,并具有最大的准确性、可靠性和成本效益。总体而言，Equinox是一款高度先进和可靠的晶圆处理程序，适用于各种半导体制造工艺，能够提供高度精确、无损坏和经济高效的基板处理。