二手 KLA / TENCOR Phoenix D 1.2 #9285868 待售

KLA Phoenix D 1.2是一款专为前端半导体加工而设计的高性能晶圆处理器。Phoenix D 1.2具有广泛的自动化功能,使其能够作为一个完整的独立设备,能够管理晶圆处理的各个方面。它设计用于处理多种基板，如硅、结晶石英和硅在绝缘体（SOI）上。Phoenix D 1.2具有重型车架，设计用于在晶圆处理过程中提供稳定性和支撑。它采用自动冰球运输系统，为晶圆冰球从一个运输站到另一个运输站提供高效、准确的移动。该装置有助于最大限度地减少手动处理造成的污染风险，并确保晶圆位置在运输过程中的准确性。它还有一个集成的真空机，帮助安全和安全地将单个晶片从存储吊舱转移到加工站。Phoenix D 1.2还包括先进的运动控制能力，允许它在运输过程中精确旋转和倾斜每个晶片。它有两个真空吊舱，每个吊舱最多可容纳三个晶片，最大速度为每秒8.3英寸，允许快速准确的晶片处理。Phoenix D 1.2支持广泛的接口，以方便与其他晶圆处理系统和仪器的通信。它有几个用于连接外部设备的输入/输出端口,包括USB端口、RS-232端口、以太网端口和模拟端口。Phoenix D 1.2还包括高级软件，用于控制晶圆处理过程的各个方面，包括运动控制、温度控制和设备之间的通信。Phoenix D 1.2符合SEMI标准，包括晶圆处理系统的SEMI E77和工艺设备接口的SEMI C85。这样可以确保高度的可靠性、过程一致性以及与其他晶圆处理系统和仪器的兼容性。总体而言，TENCOR Phoenix D 1.2是一款高性能晶圆处理程序，旨在提供高效、准确、可靠的晶圆处理。其广泛的自动化功能以及符合SEMI标准,使其成为前端半导体处理的理想选择。