二手 KLA / TENCOR Phoenix DA2 #9285836 待售

KLA/TENCOR Phoenix DA2是为晶圆制造过程自动化而设计的晶圆处理程序。KLA Phoenix DA2设备由几个部件组成，包括一个转移室、一个样本室、一个盒式盒室、一个预对齐室、一个精细对齐室、两个分离室和一个端效应器。转移室用于在系统的各个腔室之间移动晶片，而样品腔室则用于制造样品，而盒式腔室则用于存储经过处理的晶片。预对准室用于在晶片进入转移室之前对其进行检查，而精细对准室则用于对晶片进行更精确的检查。两个分割腔用于将晶片分成两个独立的部分或两个半部分，而端效应器则用于加载和卸载晶片。TENCOR Phoenix DA2设备能够在整个生产过程中自动检测和纠正晶片的错位。它能够执行各种任务,包括扫描、清洁、分类、放置、探测和修剪。该机设计为为各种尺寸和厚度的晶片提供精确的对准，可以为不同的任务配备多种模具。此外,Phoenix DA2与各种软件包兼容,可以定制以满足用户的特定需求。KLA/TENCOR Phoenix DA2工具非常可靠,拥有成本低。与其他系统相比,它具有较高的吞吐量、较低的污染风险和较小的占地面积。该资产设计为易于使用，包括用户友好的图形用户界面、对手动控制的支持以及各种可编程功能。此外,该模型还具有许多安全功能,例如自动故障检测和恢复。总体而言，KLA Phoenix DA2是一款先进可靠的晶圆处理器，专为制造过程的自动化而设计。它提供了较高的吞吐量、较低的拥有成本以及比其他系统更小的占地面积,因此适合各种制造过程。此外，该设备还配备了多种安全功能，并具有多种可编程功能，以满足用户的特定需求。