二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX C2C #293646053 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX C2C是一种晶圆处理器，旨在方便半导体工业的晶圆製造过程。这种先进的机器人工具支持小型化的占用空间,并具有模块化设计,可提供灵活性和可扩展性来处理各种晶圆大小和类型。KLA C2C旨在满足半导体制造中的关键需求,例如准确的工艺重复性和更高的吞吐量。TENCOR C2C设备包括一系列组件，如机器人、机器人控制系统、工艺头、控制器和气动。机器人为6轴、多轴铰接机器人手臂，每个轴由多个无刷伺服电机驱动，用于精确定位和控制。机器人控制单元由多种处理能力计算模块和控制模块组成，便于提高控制精度。机器人控制器在自动化操作上运行自定义算法，以促进更一致的结果和更高的吞吐量。加工头包括通过加工序列传送单个晶片的多个头。高精度气动保证了工艺头的精确和可重复运动，支持单个晶片的可重复处理。PROMETRIX C2C晶圆处理程序旨在为用户提供多种自动化特性和功能。这包括一次处理多个晶圆的能力，使用多个进程头的组合，以及将晶圆卸载和移动到一个或多个目的地的能力。C2C还具有自动索引功能,可保持晶圆的精确处理,同时保护晶圆免受热冲击、灰尘和污染。除了KLA/TENCOR/PROMETRIX C2C高效的处理流程外,它还提供了整个周期内准确的流程可重复性。这确保了生产产出始终可靠，从而有助于保持成本效益和盈利能力。此外,KLA C2C的自定义用户界面还提供了一系列流程设置,用于自定义自动化流程的控制。这个全面的软件套件可以满足简单和复杂的晶圆处理需求。它还为用户提供了一个全面的机器监控模块，帮助跟踪自动化过程的进度和工具性能评估。此功能还支持资产的维护和故障排除操作。总体而言，TENCOR C2C晶圆处理器是一种先进的机器人工具，旨在满足半导体晶圆制造工艺的要求。PROMETRIX C2C提供精确且可重复的流程可重复性和更高的吞吐量,使其成为高效且经济高效的自动化解决方桉。