二手 KOBELCO / LEO LRW #293642528 待售

KOBELCO/LEO LRW是一种晶圆处理程序，设计用于运输、跟踪和测试各种半导体晶圆。它是一种完全自动化的解决方桉,可轻松地与现有的半导体制造工艺集成在一起。LEO LRW包括一个高精度的称重和处理设备，精确到+/-0.3毫克，能够容纳尺寸和重量范围的晶圆。该系统设计用于处理高达254个晶圆的批量大小,以及高容量/高溷合生产运行中的高密度晶圆。晶圆处理程序还具有高速机器人装置，最大处理速度为70毫米/秒。这台机器的设计目的是在将维护成本降至最低的同时最大限度地提高生产率，并配有激光传感器以确保精确和可重复运行。KOBELCO LRW还配备了一系列安全功能，以确保人员和设备的安全。其中包括两个单独的极限开关来检测对晶圆的任何潜在损害，以及一个双区域缓冲区来降低晶圆断裂的风险。除了晶圆处理，LRW能够进行精度测试和质量控制检查。它可以测量晶片的各种特性，如反射率、吞吐率和其他参数。这样就可以生产更高质量的晶片并更好地控制制造过程。KOBELCO/LEO LRW还包括一个在线监控工具，可以使用Web浏览器从任何远程位置监控进程的状态，并且配备了远程报警资产，可以在发生任何错误时提醒操作员。总体而言，LEO LRW是一种先进高效的模型，旨在满足半导体行业的需求。此晶片处理程序具有广泛的功能,包括称重和手柄系统、机器人技术、质量测试和远程监控功能,能够精确地处理每一项处理要求。