二手 KUKA KR350 #9000716 待售

KUKA KR350是一种晶圆处理器，用于半导体和微机电系统（MEMS）制造业。KR350是一种多轴机器人，专为大容量晶圆处理应用而设计。它具有垂直设计，允许芯片快速准确地移动，以及超紧凑的占地面积，这使得它非常适合紧凑和密闭的操作空间。KUKA KR350有三个轴，包括一个主z轴和一个用于在二维平面中移动芯片的辅助x轴，以及一个用于在操作过程中倾斜晶片的第三个y轴。它具有紧凑的车身框架和先进的控制系统，确保最大精度。KR350提供了一系列速度,全Z轴速度为每秒1.5米。这样可以实现每秒120万微定位运动的最大单轴吞吐量。为确保运行可靠，KUKA KR350配备了多种传感器，用于监测所有主要晶圆移动操作。它还包括集成的安全联锁系统，以及提高精度的速度控制模式。KR350还拥有一个增强的晶圆级导航控制系统，能够准确地处理芯片，以及一个图形用户界面，以方便操作员。KUKA KR350是为可靠的性能而设计的，能够执行低至20纳米可重复性的循环。它具有一系列固定零件，总重量约15千克，包括机械手和车架。这意味着它可以快速轻松地集成到任何现有的生产线中。KR350还提供了高度的灵活性,可用于多个应用程序和任务。总体而言，KUKA KR350是一个可靠、准确的晶圆处理器，非常适合半导体或MEMS制造业。它速度快、周期时间短、精度高，是严密、密闭生产环境的完美解决方桉。