二手 KUKA VKR150/2 #9267570 待售

KUKA VKR150/2是由KUKA Robotics开发的晶圆处理程序，用于半导体工业。它是一种高度可靠和坚固的晶圆处理设备，设计用于在大批量制造操作中提供高效、安全和精确的晶圆处理。设计用于处理2 "x 2"或2.5 "x 2.5"晶圆，最大重量各150克。该系统配有一个集成的伺服驱动器，可确保精确和可重复的运动，从而能够精确和精确地放置晶片。其机械单元由一系列机动元件、控制器、智能运动控制机和高分辨率编码器反馈工具组成。机动化部件平稳准确地移动晶片，控制器和运动控制资产完全可编程用于定制晶片处理运动。此外，精确反馈模型允许将晶片从一个应用程序精确放置到另一个应用程序。该VKR150/2还采用了专利头设计，能够在x、y、z平面上同时轻松处理多达三个晶片。它还具有独特的高精度进料设备，确保晶片的放置具有高度的准确性和可重复性。除了晶片处理能力外，系统还通过其集成相机单元提供晶片分类、晶片取向识别和晶片检测/质量控制。该机在设计时考虑到了安全性和可靠性，设计上符合包括IEC 61508和EN 13849-1在内的安全规定。它也被设计为满足对半导体工业的严格要求。该工具采用严格的质量控制标准设计，使其能够提供高质量的晶圆处理解决方桉。综上所述，KUKA VKR150/2是由KUKA Robotics开发，用于半导体行业的高度可靠和稳健的晶圆处理程序。它的设计考虑了安全性和可靠性,能够同时处理x、y、z平面中的三个晶片,具有很高的准确性和可重复性。它具有集成的伺服驱动器和晶圆分类、晶圆定向识别和晶圆检测/质量控制等多种智能功能,可提高可用性和性能。