二手 LAM RESEARCH 002-0016-04 #293669986 待售

ID: 293669986
晶圆大小: 8"
Armset, 8".
LAM RESEARCH 002-0016-04是一款多功能晶片自动化处理程序,旨在支持单晶片和多晶片工艺,以实现200mm晶片的高通量和可靠处理。该设备设计有介电壁、颗粒过滤再循环/通风口、易于进入的端口和可拆卸的晶圆托盘,从而大大减少了空气中的微粒,有助于保护工件和工具的完整性。002-0016-04处理器设计为在广泛的温度范围内提供高速、精确且可重复的运动。它配备了一系列的传感器和运动控制器,用于精度、速度和可重复性。它还具有用于功率和速度的高电机扭矩系统、可编程的用户界面以及直观的操作单元,以确保易于使用。对于需要洁净室环境的应用,LAM RESEARCH 002-0016-04处理程序采用空气过滤、颗粒和温度监测、湿度控制3个阶段,以确保产品的完整性和均匀性。这台机器还可以容纳各种各样的刀具格式和晶圆尺寸,使用户能够优化其工艺,以实现最大的灵活性和成本效益。该工具提供了在从室温到300摄氏度的各种工作环境中在各种温度范围内操纵晶片的能力。它还能够支持需要多个晶圆配置和传输的进程。该资产通过高精度运动控制器和基于编码器的模型为所有晶片传输提供一致的精度和可重复性,以实现每次的完美对齐。002-0016-04处理程序配备了多种增强用户体验的技术。它结合了高速相机系统,以实现检查、定位和对准能力。它还具有可编程逻辑控制器,允许用户轻松编程参数,以实现快速高效的晶圆处理。LAM RESEARCH 002-0016-04处理程序旨在提供安全可靠的工作场所。它配备了气流保护技术,以消除空气中颗粒污染的风险,同时在操作过程中保护人员。此外,它还包括各种安全功能,使用户能够安全地操作设备。002-0016-04晶圆处理程序是各种多晶圆和单晶圆工艺应用的完美工具。它可靠、精确、可重复,是半导体行业中任何需要可靠晶圆处理系统的人的理想选择。
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