二手 MACTRONIX Eureka 450 #9124006 待售

MACTRONIX Eureka 450是一款最先进的晶圆处理程序,旨在通过灵活的自动化功能高效处理直径达450 mm和0.1 mm厚的基板。该型号配备了由两组伺服驱动马达组成的精密运动设备，这些马达允许各种基板处理功能。为确保高精度和可重复性能,将电动机同步到由高级数字伺服轮廓控制的单个系统中。这个复杂的运动单元还能够在X-Y-Z轴中定位基板，以及校准位置偏移。尤里卡450配备了集成线性传输和自动对焦扫描仪、多位置重基板表、模块化晶圆分选机等几个独特功能。内置的线性传输可以实现基板的精确和快速路由。自动对焦扫描仪根据基板的位置调整镜头对焦，并允许机器快速捕获基板的图像。多位重基板台最多可支撑20公斤重量，可一次携带9英寸晶圆。最后，模块化晶片分选机内置了索引机制，在不同的基材尺寸之间快速排序。MACTRONIX Eureka 450还配备了几种自动化功能，使晶圆处理更容易、更快。例如,处理程序可以自动检测任何基板未对齐,以及测量间隙和高度信息以检测任何划痕或缺陷。此模型还具有自动边缘检测和拒绝超出规格的基板的能力。此外,Eureka 450还可以为真空通道和闸阀事件提供自动化,例如准备用于传输的负载基板,以减少复杂的手动操作。MACTRONIX Eureka 450是一款先进的晶圆处理程序,能够执行各种精确的基板处理操作。它的精密运动工具和额外的自动化功能使尤里卡450成为任何工厂车间的绝佳选择。