二手 MACTRONIX Eureka UKA-825 #52725 待售

MACTRONIX Eureka UKA-825晶片处理程序是一种全自动设备,可精确处理直径不超过8英寸的半导体晶片。它将晶片精确安全地放入多层托盘或FOUP类型的自动盒式磁带中。该处理程序使用Envirotech直接驱动器拾取和放置模块（DPPM）访问和运输晶片,并对晶片进行严格的处理,如照明测试、化学气相沉积或化学处理。Eureka UKA-825的精确、运动控制设备经过精心设计，可提供出色的重复性和低公差性能。其轴运动由高精度、无刷直流伺服电机提供动力。先进的梯形传感系统和闭环位置反馈提供动态重复性和最大的过程安全性。MACTRONIX Eureka UKA-825针对超精确、可重复的晶圆处理进行了优化。铰接机器人手臂配有坚固的悬臂，可以将晶片插入和提取到最深的托盘和自动盒式磁带中。其多层真空拾取机构和叶片边缘输送作用可防止在操作过程中刮擦。Eureka UKA-825采用紧凑、节省空间的占地面积,便于快速轻松地集成到任何半导体处理套件中。高度直观、基于Web的图形用户界面（GUI）具有实时流程信息、关键参数审查和彻底的可追踪性。GUI还使用户能够开发自定义配方并执行错误恢复和预防性维护。MACTRONIX Eureka UKA-825的设计非常可靠和安全。一个完整的外壳防止外部污染物和偏转危险的排出气体。许多复杂的安全机制进一步保护硬件，如双锁安全互锁单元、紧急停止、点对点电源关闭、电机过载保护和故障安全指示灯。简而言之，尤里卡UKA-825晶片处理机是一种下一代晶片处理机，针对需要高精度、重复性和安全性的半导体加工应用进行了优化。凭借其先进的功能、坚固的结构和改进的流程可持续性,它能够实现当今市场上的最高质量标准。