二手 MACTRONIX SWR-600 #9188737 待售

MACTRONIX SWR-600晶圆处理器是一种工业级、自动化、精密的等离子体加工设备，用于半导体制造业。该系统设计用于水平放置,并配有一个多晶圆传输托盘,专门为加载600 mm晶圆而设计。它可以接受不同尺寸和类型的晶片，包括125毫米、200毫米、300毫米和600mm。该单元采用全金属结构，粉末涂层耐用。SWR-600晶片处理程序具有枢转晶片托盘,该托盘允许加载或卸载晶片,而无需旋转托盘。它设计为在处理晶片时精确、温和、可靠，以确保在处理过程中不会损坏。此外,它还带有一个可编程定序器模块,用户可以控制晶片的确切位置和晶片托盘的速度以进行精确处理。MACTRONIX SWR-600晶片处理程序的功能包括集成的流程结束指示灯,在流程完成时向用户发出警报；可手动设置的可调晶片高度,以及内置的紧急停止开关,以防止意外过度处理。它还具有确保晶片牢固固定到位的多位置真空晶片支架和允许用户在紧急停止后返回到最后一层处理的Vaccum Resume功能。此外,它还包括一台动态跟踪机器,允许用户将托盘的位置精确调整到适当的晶圆大小,以实现最佳加载。SWR-600晶片处理程序允许用户轻松地在多个晶片大小之间进行切换,从而能够满足广泛的工艺要求。它还提供了防止用户过度处理或损坏其晶片的自动锁定功能。此外,该工具还由工业级电气资产提供动力,该资产设计为可承受极端温度和振动。所有这些特性结合起来，为晶圆处理提供了有效可靠的机制。