二手 MANZ Z10 #9123461 待售

MANZ Z10
製造商
MANZ
模型
Z10
ID: 9123461
优质的: 2009
Wafer handler Compressed air 6 bar Filter capacity: ≤ 40 μm Consumption: 200 l / min Uninterruptible Power Supply (UPS) Emissions: Sound level in 1 m distance: ≤75 dB(A) Temperature area: +10 to +40 °C Humidity rating: 10% to 75 % Power supply: 400 V, 40 A, 50 Hz, 15 kVA 2009 vintage.
MANZ Z10是一种全自动晶圆传输和处理设备。它能够在洁净室环境中高效可靠地运输晶片,并且可以处理大多数晶片尺寸,直径从50毫米到150毫米不等。该系统有一个完全封闭的设计,尽量减少颗粒污染和灰尘产生。通过使用易于使用的图形用户界面,操作员可以完全控制晶圆处理操作。加载机制允许单独或同时处理晶片盒式磁带和FOUP盒式磁带。Z10配有一个视觉装置,能够检查每个晶片是否有缺陷。它可以检测粒子、划痕、断裂和不均匀点。集成缺陷检测机非常精确,能够检测到尺寸低至9.2微米的缺陷。为了更准确的检查,可以显示产品的放大版本。晶圆处理设备旨在消除与产品的人际互动,减少出错和污染的机会。它能够识别不同尺寸的晶片何时存在,并相应地调整负载头的位置。该工具还能够识别晶圆表面上的异物并拒绝它,同时防止对周围晶圆的任何潜在损害。MANZ Z10能够以比手动过程快100倍的速度加载和卸载晶片。这使其成为高速生产的理想选择,可以显着提高晶圆运输和装卸的吞吐量。还采用真空夹持技术确保产品的安全和准确的转移。资产还带有可听警报模型和外部互锁能力,因此操作员可以放心地操作机器。总体而言,Z10是一种坚固可靠的晶圆处理设备,既提供精密又提供高速晶圆传输。其集成的缺陷检测系统、真空抓握技术和全封闭的设计保证了无颗粒的处理和最小的污染或错误机会。该单元也使用方便,既适合高端生产又适合研究应用。
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