二手 MECS UT0100 #9157918 待售

MECS UT0100是一种高性能晶片处理程序,专为在自动晶片晶片环境中全天候运行而设计。该设备采用具有多轴机器人、操作设备和独特算法的先进技术。UT0100提供最多四个独立的工作站,每个工作站可处理直径达300毫米的晶圆。MECS系统非常适合多面前端自动化解决方桉,并提供了广泛的灵活解决方桉。晶片由高精度伺服电机在俯仰、偏航和倾斜方面进行精确控制。强大可靠的MECS UT0100晶片处理程序提供高吞吐量和一致性。它可用于具有自动重复和自动对齐功能的单处理和多处理处理。该单元提供对机械手臂驱动器和参数的高分辨率监控。此外，还有一个直观的图形用户界面和内置的故障检测和诊断。UT0100机器中使用的先进的多轴机器人效率很高，能够进行较短的周期时间和较长距离的精确移动。由于对位置和精确运动的灵敏度很高，机器人也能够以极高的精度分辨出很小的距离。它们具有多个级别的通信协议支持,以及50多个用于机器人控制的软件命令。这使得机器人可以由外部控制器进行编程操作。此外，MECS UT0100是一个两级晶片处理程序，带有转移臂，用于将晶片装入和装出工具。这使资产能够快速访问晶圆并应用强大的处理功能。该模型还特别为高真空系统设计，并配备了多种传感器，以提供最佳真空控制和设备健康状况。UT0100提供了一系列友好且易于配置的功能来优化操作。先进的编码能力提供了沿全轴范围的精确控制，而带有伺服电动机的双驱动模块则产生了高精度的运动。此外,晶片处理程序经过了密集测试,并获得了完整API套件的认证,非常适合本地或全球生产环境。