二手 MECS UTC-800P #9097821 待售

MECS UTC-800P是一种晶圆处理机，用于半导体工厂，用于传输多达8英寸晶圆。该处理程序旨在支持CVD、蚀刻、扩散、自旋漂洗干燥、光刻、PVD和相关工艺。MECS UTC 800 P具有高达每小时60晶圆的高吞吐量，可以提供精确可靠的传输操作。桌面设计允许与现有工艺设备进行清洁和轻松的集成,其创新的晶圆处理组件现代体系结构可确保对时间敏感的工艺高效运行。晶片处理机采用"负载锁"设备，利用氮或清洁空气供应晶片在整个系统中传输。这个单元减少了转移室与外界环境之间的空气交换，使洁净室的气氛得以有效维护。UTC-800P从正面装有8英寸狭缝卡带、带弹匣的卡带和FOUP。处理程序可以控制每个机械臂的位置和速度，并主动拒绝位置或方向有故障的晶片。它也有一个保护板来拒绝错误的晶片。此外，它还配备了光学和硬动位置检查机，以确保精确操作。安全是UTC 800 P设计中的一个关键特征。它具有两点晶圆制导工具，符合SEMI S2/FSE标准。该处理器采用碰撞检测和预防技术、坚固的框架结构和加固的主体进行安全操作。它还具有动态晶片断裂预防、动态晶片角检测、紧急停止功能和动态互锁资产等特点。MECS UTC-800P是半导体行业中一种功能强大、可靠且安全的晶圆处理器。其创新的组件和严格的安全标准旨在提供精确的传输,即使在最苛刻的操作中也是如此,使其成为工厂流程的理想选择。