二手 MECS UTX-1100 #66910 待售

MECS UTX-1100是一种专为半导体加工而设计的晶圆处理器,精度最高.处理程序基于450毫米乘450毫米的工作区域，在真空抓取设备上运行。该系统允许从75毫米到300毫米直径的晶圆大小进行高效处理。双轴运动单元设计用于在整个晶圆处理过程的所有操作中移动旋转的晶圆。马达驱动器可以达到高达300毫米/秒的速度，这使得晶片盒和加工工具之间可以快速、准确地移动。UTX-1100坚固的设计包括保护晶片免受污染的盒式外壳腔室,以及确保即使在苛刻条件下也能正常运行的特殊双腔室保护机。处理程序还包括精密线性编码器工具和精细调节模块，确保精确的精细定位和移动。其复杂的软件控制器可以轻松编程和管理,以实现工作流的高效自动化,并减少因错误或故障而导致的停机时间。MECS UTX-1100可以控制真空离合器和夹具的压力，以确保晶片在加工过程中牢固地固定在适当的位置，从而消除在操作过程中滑动或移位的可能性。内置的自动床对准资产有助于自动调整晶片盒式磁带位置，以达到最大效率。UTX-1100设计易于维护,非常适合半导体行业中的大批量生产线。它的不锈钢结构和集成的灰尘和液体保护使得它具有很高的耐用性，并且可以安全可靠地处理晶圆材料。