二手 MGI ACT-1003 V8 #9170549 待售

ID: 9170549
Wafer transfer system.
MGI ACT-1003 V8是为研发而设计的自动化晶圆处理设备。该系统配有全自动双轴龙门单元、电动晶片卡盘组件和两台高可靠性线性推进器。该机器设计用于将大小和厚度各异的晶片在清洁室环境中转移到各种加工机器中。双轴龙门工具通过将晶片卡盘引导到所需位置,能够精确地扫描宽区域。这是由高强度和低惯性伺服电机支持的,可达到3000毫米/秒的速度。另外,龙门设备采用双导轨伺服控制模型来提高晶圆运动的精度和精度。设备的电动晶片卡盘组件能够同时容纳多达8个晶片。它包括一个精确的气动夹紧机构,以确保晶圆的处理和定位是安全和准确的。机动化晶片卡盘设计还支持晶片对准、定向、定位。另外,晶圆处理系统有一个车载视觉单元,用于错误检测和晶圆检查。这两种高可靠性线性推进器在处理晶片时提供稳定、坚固和平滑的运动。其紧凑的尺寸和集成的空气歧管组件,使高性能和快速处理大晶片的能力。这使得吞吐量大大提高,污染风险降低。ACT-1003 V8是一款考虑到安全性和可靠性的高性能机器。它为各种洁净室应用程序提供了创新的晶圆处理解决方桉。此外,其先进的特点,如双导轨伺服控制工具和车载视觉资产确保可靠和准确的晶圆处理。
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