二手 MGI ET 1000 #9221426 待售
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MGI ET 1000是一个晶片处理程序,设计用于晶片吊舱的紧凑和精确的装卸,以及这些晶片进出加工工具的转移。它是一个全自动的6轴机器人,能够进行静止或动态操作,并且能够容纳多达15个晶圆。该单元提供了一个6轴转塔,带有一个独立的真空工具更换器和可编程的晶圆坐标,用于晶圆在转移过程中的精确定位。该工具在380 (W) x 590 (D) x 305 (H) mm的有限空间内操作。其最大移动速度高达250毫米/秒,允许高吞吐量和快速晶片装卸。MGI ET1000配备了先进的图像采集系统,保证了定位的高精度.该单元有内置的安全标准,可用于与领先的软件包接口。该机还具有高精度定位器,位置调整能力很好。该单元的晶片处理系统由两个平行的线性级组成,其中安装了真空漂移索引器。晶片吊舱直接放置在真空漂移索引器上,机械臂进行所需的运动,以便按要求装卸晶片。ET-1000设计时考虑到用户的安全和便利。它内置了晶圆对准和碰撞检测的安全开关,以及自动晶圆检测和故障处理功能。它还具有工作场所保护,以防止操作员发生事故。它的纤细设计确保不会占用不必要的空间。总体而言,MGI ET-1000是一个有效的晶圆处理程序,它在紧凑可靠的封装中提供强大而准确的性能。
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