二手 MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19 #9411580 待售

MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19是一款高度先进的自动化晶圆处理器,专为高容量8英寸晶圆应用而设计。它是一种完全集成的机器人搬运设备，既可用于半导体制造生产线，也可用于先进的研发设施。CR751-04VD1-0-S19采用独特的单轴设计,无需复杂的机械连杆和转盘。这样可以在系统内进行精确、连续的晶圆推进和控制。该设备在MITSUBISHI专有软件和硬件上运行，提供对处理过程中每个阶段的精确控制。MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19具有模块化设计,能够为每个特定应用程序快速设置和重新配置。它配有机动化的Z轴主轴，以优化晶片的个体定位，并配有精确的内置视觉单元，以确保晶片和框架的精确对准。它还具有支持200毫米晶圆大小的晶圆主从机器人。这使得晶片能够以高效、准确的方式精确加载和卸载。CR751-04VD1-0-S19还支持最多24块晶片的并行传输。其集成的真空处理机可以精确处理多种不同类型的8英寸晶片，包括硅、的、砷化铵的晶片。它有一个高速精密传输工具，可以同时处理多达四个晶圆，同时调整它们之间的间距。三菱CR751-04VD1-0-S19与使用最广泛的半导体制造工具兼容，如蒸发器、PECVD系统、LPCVD系统和自旋涂层。它还具有先进的安全功能，例如互锁的检修门和安全继电器，以提供额外的安全保证。此外,它还配备了强大的实时数据收集和存储功能,使其能够准确处理更大的数据量。最后,CR751-04VD1-0-S19具有令人印象深刻的节能功能,有助于进一步提高成本效率。